ERUN-PG51NF3固定在線式三氟化氮檢測(cè)報(bào)警儀適用于半導(dǎo)體芯片、平板顯示器、光纖、光伏電池等使用三氟化氮NF3作為等離子蝕刻氣體和反應(yīng)腔清洗劑的工況場(chǎng)所，固定式三氟化氮泄漏檢測(cè)儀可以連續(xù)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)空氣中三氟化氮的濃度值及泄漏狀況。在線式氟化氮NF3濃度報(bào)警探測(cè)器能夠在監(jiān)測(cè)到三氟化氮濃度達(dá)到或超過(guò)儀器預(yù)設(shè)的報(bào)警濃度值時(shí)時(shí)就會(huì)發(fā)出聲光報(bào)警，信號(hào)遠(yuǎn)程傳輸至值班室監(jiān)控主機(jī)上同步顯示氟化氮的濃度值和報(bào)警狀態(tài)，并自動(dòng)聯(lián)鎖控制排氣風(fēng)機(jī)進(jìn)行通風(fēng)換氣。
ERUN-PG51NF3固定式三氟化氮NF3報(bào)警儀采用工業(yè)級(jí)進(jìn)口高精度電化學(xué)原理傳感器，可用于快速準(zhǔn)確測(cè)量氟化氮的濃度值及泄漏狀況，誤差小、精度高，測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確可靠。工業(yè)氟化氮泄漏探測(cè)器具有防塵、防爆和防水功能，抗強(qiáng)電磁干擾和靜電的產(chǎn)生，不僅滿足國(guó)家型式批準(zhǔn)的要求，而且還能夠同時(shí)滿足各省市地區(qū)相關(guān)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)，是目前市面上主流一線品牌氣體檢測(cè)報(bào)警儀。在線式三氟化氮濃度探測(cè)儀能夠通過(guò)分線制4-20mA模擬量或總線制RS485（Modbus RTU）或無(wú)線傳輸模式開(kāi)關(guān)量將監(jiān)測(cè)到的氣體濃度數(shù)據(jù)及報(bào)警狀態(tài)實(shí)時(shí)傳輸至值班室的監(jiān)控主機(jī)上，進(jìn)行氣體濃度同步顯示和報(bào)警，并可自動(dòng)聯(lián)鎖控制排氣風(fēng)機(jī)進(jìn)行通風(fēng)換氣工作。

檢測(cè)氣體	三氟化氮NF3
量程分辨率	NF3：0-50ppm、0.01ppm、進(jìn)口高精度電化學(xué)原理傳感器 或 NF3：0-1000ppm、0.1ppm、進(jìn)口高精度電化學(xué)原理傳感器 其他量程、原理、分辨率可訂制
檢測(cè)精度	≤±3%F.S（更高精度可訂制）
重 復(fù) 性	≤±2%
線 性 度	≤±2%
不確定度	≤±2%
響應(yīng)時(shí)間	T90≤20秒
恢復(fù)時(shí)間	≤30秒
信號(hào)輸出	總線制RS485（Modbus-RTU），分線制4～20mA， 選配：0～20mA、1～5V、0～5V、0～10V、無(wú)線傳輸、網(wǎng)絡(luò)傳輸、短信報(bào)警。
工作方式	固定式安裝，在線檢測(cè)，擴(kuò)散式測(cè)量；可選管道式、流通式、泵吸式測(cè)量。
顯示方式	現(xiàn)場(chǎng)1.7寸高清彩屏顯示，可選現(xiàn)場(chǎng)無(wú)顯示，或選配ERUN-PG32E控制器遠(yuǎn)程顯示、控制、報(bào)警
報(bào)警方式	默認(rèn)1路，可選2路無(wú)源觸點(diǎn)（干節(jié)點(diǎn)）輸出，三級(jí)報(bào)警，報(bào)警點(diǎn)可設(shè)置 現(xiàn)場(chǎng)聲光報(bào)警
安裝方式	管道式、壁掛式。管道式的工作壓力為大氣壓±30%，超出范圍需降壓處理。
工作電壓	12～30VDC直流，單臺(tái)設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)電源為24V，1A或大于1A 的直流穩(wěn)壓開(kāi)關(guān)電源
工作環(huán)境	溫度：-40℃～+70℃，濕度：≤10～95%RH （常規(guī)）非凝露場(chǎng)合 在凝露場(chǎng)合使用須訂制或訂貨時(shí)注明使用環(huán)境
電氣接口	3/4NPT，可選M20*1.5內(nèi)螺紋、1/2NPT
連接電纜	4～20mA選三芯屏蔽電纜，RS485選四芯，距離超1000米時(shí)單根線徑≥1.5mm；屏蔽層接大地。
防護(hù)等級(jí)	IP65級(jí)防水防塵
防爆類型	隔爆型，Ex d ⅡC T6 Gb級(jí)防爆
外型尺寸	210×170×85mm(L×H×W)
重    量	1600g

1、具有二級(jí)防雷、IP65級(jí)防水功能，以及防塵和防爆功能，抗強(qiáng)電磁干擾和靜電的產(chǎn)生；
2、具有防反接功能，任意形式的錯(cuò)誤接線都不會(huì)對(duì)固定式三氟化氮NF3報(bào)警儀造成損壞；
3、具有獨(dú)立氣室，可以防止顆粒物、雜質(zhì)直接隨待測(cè)氣體進(jìn)入儀器，使用壽命及可靠性更高；
4、通過(guò)4-20mA模擬量、RS485、開(kāi)關(guān)量將監(jiān)測(cè)到的濃度數(shù)據(jù)傳輸至監(jiān)控值班室的控制器主機(jī)上，進(jìn)行同步顯示和報(bào)警；
5、可在-40℃極寒工況或+70℃極熱工況環(huán)境下正常使用，并且儀器可自動(dòng)溫度補(bǔ)償；
6、不僅滿足國(guó)家型式批準(zhǔn)的要求，而且還能夠同時(shí)滿足各省市地區(qū)相關(guān)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)；
7、誤操作恢復(fù)功能，可以將某一時(shí)段內(nèi)的更改設(shè)置恢復(fù)到之前的狀態(tài)；
8、標(biāo)配紅外遙控器，可遠(yuǎn)程進(jìn)行消除報(bào)警聲、修改報(bào)警值、恢復(fù)出廠設(shè)置等功能。

標(biāo)準(zhǔn)附件	工業(yè)氟化氮泄漏探測(cè)器、說(shuō)明書(shū)、合格證、外箱包裝盒
安裝型附件	選配：流量計(jì)、24VDC或220AC采樣泵（采樣距離10米）、真空泵（采樣距離大于40米）、減壓閥、24V開(kāi)關(guān)電源、墻壁安裝支架、管道安裝不銹鋼螺紋焊座或法蘭（需注明管道或法蘭尺寸，如DN50、DN15...）、防雨罩、固定在管道上的安裝卡扣（四分、六分管）。
預(yù)處理（選配）	高溫高濕度預(yù)處理系統(tǒng)、高溫高濕高粉塵預(yù)處理系統(tǒng)、常溫高濕預(yù)處理系統(tǒng)
無(wú)線傳輸（選配）	可以把數(shù)據(jù)無(wú)線傳輸?shù)竭h(yuǎn)程監(jiān)控中心、手機(jī)、監(jiān)控電腦等監(jiān)控設(shè)備，利用上位機(jī)在電腦上，進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、存儲(chǔ)、打印等功能
選配附件	連電腦監(jiān)控的配件：RS485/RS232轉(zhuǎn)換器、免費(fèi)上位機(jī)軟件、無(wú)RS232接口的筆記本電腦還需USB/RS232 轉(zhuǎn)換連接線，如果要網(wǎng)絡(luò)傳輸還需 TCP/IP轉(zhuǎn)換器； 分體式聲光報(bào)警器、一體式聲光報(bào)警器、24V直流穩(wěn)壓電源。

以上就是關(guān)于ERUN-PG51NF3固定在線式三氟化氮檢測(cè)報(bào)警儀的相關(guān)介紹，三氟化氮，又稱作氟化氮，化學(xué)式為NF3，常溫常壓下為無(wú)色氣體，屬于對(duì)人體有毒有害的氣體，在現(xiàn)場(chǎng)安裝使用固定式三氟化氮泄漏檢測(cè)儀主要是為了能夠24小時(shí)連續(xù)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)環(huán)境空氣中的三氟化氮的濃度值，以免過(guò)量泄漏積聚的三氟化氮造成人員中毒事故的發(fā)生。三氟化氮是一種強(qiáng)氧化劑，具有助燃性，受熱或與火焰、電火化、有機(jī)物等接觸能燃燒，與還原劑能發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng)，甚至爆炸。此外，氟化氮作為對(duì)人體有毒有害的氣體，人員不慎吸入較高濃度時(shí)，會(huì)對(duì)皮膚、粘膜有刺激作用，情況嚴(yán)重時(shí)，甚至?xí)＜吧?，通過(guò)在現(xiàn)場(chǎng)安裝使用在線式氟化氮NF3濃度報(bào)警探測(cè)器可以有效避免危險(xiǎn)事故的發(fā)生。